干式螺桿真空機組根據不同的工藝和工況有不同的配置，機組配置詳細介紹如下：

1、粉塵過濾器，過濾氣體中顆粒及粉塵，避免進入泵內造成損壞。濾芯為不銹鋼金屬網折疊濾芯，過濾精度根據不同環境選定，可以拆卸、清洗，循環使用

2、進氣氣動球閥，中線對夾式氣動球閥；雙作用氣動執行機構：220v兩位五通電磁閥 ，開關型 ，機械式限位開關。

3、 溫度變送器，用于傳感排氣口溫度。

4、壓差表及壓力變送器，檢測過濾器濾芯堵塞情況，壓差表用于現場顯示；

壓差變送器用于數據輸出過濾器進出氣口壓差過大時用于應及時清理濾芯，運行中壓差要求小于2kpa（建議根據使用過程中確定該值）。

5、夾套式水冷卻系統： 功能：通過外接的冷卻水將真空泵壓縮過程中產生的熱量帶走，從而降低泵腔溫度。

6、氮氣吹掃及氮氣保護系統，用于泵腔吹掃和機械密封保護。

7、控制系統，用于對整個系統進行控制。

8、根據不同工藝還可配套冷凝、消音器、回收罐、尾凝系統等等配置。

9、還可以和羅茨泵配合使用。